對流化床立式管式爐的簡單介紹
更新時間:2020-01-03 點擊次數(shù):11502
流化床立式管式爐是門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量等
特點
爐管為高純石英管,爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域,進行沉積實驗
用途
是一款流化床立式管式爐,專門針對粉末表面沉積的CVD實驗。反應氣體和均勻地通過反應區(qū)
固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區(qū)內
爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。
注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區(qū),所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節(jié)氣體流量等