立式管式電爐組成的CVD系統(tǒng)設(shè)備由沉積溫度控件、沉積反應(yīng)室、真空控制部件和氣源控制備件等部分組成亦可根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)生產(chǎn)，CVD系統(tǒng)除了主要應(yīng)用在碳納米材料制備行業(yè)外，現(xiàn)在正在使用在許多行業(yè)，包括納米電子學(xué)、半導(dǎo)體、光電工程的研發(fā)、涂料等領(lǐng)域。

爐門開啟自動(dòng)斷電功能，使?fàn)t門打開后自動(dòng)斷電。超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動(dòng)斷電及報(bào)警。漏電保護(hù)功能，當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。

一、操作便捷性：

1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結(jié)構(gòu)。

2、使取放物料過程簡化，只需一支卡箍便可完成氣路連接，方便操作。

3、取消了復(fù)雜的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成損壞的可能。

二、結(jié)構(gòu)實(shí)用性：

1、1200℃立式管式電爐系列：加熱爐膛有左右兩部分組成，其中右部爐膛可整體向右翻轉(zhuǎn)110°，方便取放、觀察實(shí)驗(yàn)物料，爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。

2、密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進(jìn)出氣微量可調(diào)功能。

3、兩端氣路支架，支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應(yīng)力，杜絕了因自身應(yīng)力而造成的爐管損壞。

4、空氣隔熱技術(shù)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，當(dāng)爐體表面溫升到達(dá)50℃時(shí)，排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng)，使?fàn)t體表面快速降溫。

三、使用安全性：

1、爐膛開啟自動(dòng)斷電功能，使?fàn)t門打開后自動(dòng)斷電。

2、超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動(dòng)斷電及報(bào)警。

3、漏電保護(hù)功能，當(dāng)爐體漏電時(shí)自動(dòng)斷電。以上功能確保了使用的安全性。

四、控制智能化：

1、電爐溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能，并可編制各種升降溫程序。

2、國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫，進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控溫。

3、電爐內(nèi)配置有485轉(zhuǎn)換接口，可選配軟件實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)相互連接。完成與單臺(tái)或多達(dá)200臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。

五、周邊拓展性：

1、真空控制系統(tǒng)。通過各種真空控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)樣品在低、中、高真空環(huán)境下進(jìn)行試驗(yàn)。

2、氣體流量控制系統(tǒng)。通過浮子或質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)進(jìn)氣量，以滿足用戶在不同反應(yīng)氣氛或保護(hù)氣氛條件下的實(shí)驗(yàn)要求。

顯示畫面有儀表屏、光柱圖、實(shí)時(shí)曲線、歷史曲線、數(shù)據(jù)報(bào)表、全中文觸摸式操作，功能并且使用方便。